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Q. ESC 정전척 온도 제어 질문

지우우아

PECVD에서 ESC로 웨이퍼를 고정하고, 열선처럼 작동해서 웨이퍼에 열을 가한다고 알고 있습니다. 혹시 스팟별로 다르게 온도를 가할 수 있나요? 웨이퍼 표면 온도를 균일하게 하기만 가능한지, 위치별로 다르게 온도를 가할 수 있는지 궁금합니다.


2025.08.17

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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